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真空镀膜机阴极靶温度对电弧的影响

2021-05-22

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       真空镀膜机阴极靶温度对电弧影响长短常大的,温度控制的是否及时与合理,直接影响着基材镀膜效果,以及出产效率,因此,一般厂家操作真空镀膜机都一般要请有经验懂镀膜技术的专业人员,这样既能控制成本,又能提高效率。那么真空镀膜机阴极靶温度对电弧有那些影响呢。靶源的阴极电弧放电燃烧的不变性依靠于阴极表面的蒸发温度,降低阴极表面温度,会带来很高的电弧燃烧不变性。同时降低阴极蒸颁发面的温度,也会导致金属蒸气中的大的粒子数和大的溅射物降低。


真空镀膜机


      不雅察看真空离子镀膜机靶阴极电弧的燃烧情况,每当电弧熄灭前,总是发现电弧弧斑极为粗糙。有时甚至呈现堆团状弧斑。熄灭后不雅察看靶面已发红,靶表面温度很高。粗糙弧斑的呈现,使弧电流较集中于靶面一点,导致了弧斑下靶面斑点电流过于集中,使弧斑下的靶面温度更高而产生大量的热电子发射。靶面局部大量的热电子发射的成果,一方面中和了大量的空间电荷,使阴极表面上的电场成为减速场,甚至导致阴极表面上的电场等于零。另一方面,大量的热电子发射对阴极表面产生相当大的冷却作用。成果既没有空间电荷产生的强大电场来维持表面发射,也不具备极高的表面温度来产生热电子发射,导致电弧的熄灭。
      所以在真空镀膜机多弧靶源的设计中,应留意给阴极靶以充实的冷却,最好采用直接水冷,间接水冷时,阴极座等相邻部件应选用导热性能良好的材料(如铜、铝等)